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半導体成膜装置部品（MO-CVD,MBE）高真空部品 - 高温 ...

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【真空装置部品】半導体基盤製膜装置（MO‐CVD）やMBEに良く使用されている基板プレｰトやホルダｰは、高温や耐薬品性を求められる場合が多い為にMo・Ta・W等の高 ...